在羅茨真空機組主要用于需要處理大量水蒸汽和要求高真空度的真空泵系統，如真空干燥在需要處理大量水蒸氣的真空系統中，更適合使用水環泵。但是由于真空度低，整個機組的真空度低，羅茨真空機組的原理如下。

　　保留了羅茨泵的優點，可以快速工作，泵速更快。特別是能適應抽出大量可凝性蒸汽，特別是氣動油封機械真空泵的可凝性蒸汽排出能力不夠，或者使用的溶劑會使泵油變質影響其性能，或者真空系統不允許油污染。當裝有防爆電機和電器時，根據相應的規定，易燃易爆氣體也可以抽出。在食品工業中的冷凍干燥，紡織工業制藥工業中的應用，高空模擬試驗等。

　　在羅茨真空機組中，原理大致有以下幾種：
　　1、作用機組是羅茨泵所需的預備真空。一般來說，單級水環泵的真空度不高，而國產羅茨真空機組所需的預真空較高。所以，其實羅茨泵的前置泵一般不采用單級水環泵，而是采用壓力較低的兩級水環泵作為前置泵，也可以降低機組的壓力。
　　2、羅茨泵和水環泵的壓力為400 Pa，可以滿足一般的真空要求，但應用范圍有限。如果兩個單元串聯，單元的壓力可以大大增加(高達25Pa)。所以在這種類型中，通常會看到兩個羅茨泵串聯，然后用一個兩級泵作為前級泵組成一個單元。如果需要更高的壓力，可以將三臺羅茨泵與水環泵組合使用，壓力可以達到1Pa。
　　3、用于高真空的羅茨真空機組不能直接排放到大氣中。例如，羅茨真空機組的進氣口和出氣口之間的壓差太大，使羅茨真空泵過載。如果簡單地增加真空泵電機的功率，真空泵就會過熱，這樣羅茨真空泵轉子之間的小間隙就會因熱膨脹而迅速堵塞。
　　4、為了保證羅茨真空泵能達到高真空，一定要保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。
　　因此，總的來說，羅茨真空機組選擇水環泵作為前級泵比其他真空泵更有優勢，主要是因為它可以去除大量的可凝蒸汽，特別是當帶有氣動油封的機械真空泵去除可凝蒸汽的能力不足時，或者使用的溶劑會使泵油變質，影響其性能。