真空機組的工作原理是通過真空泵抽出容器內的氣體，使容器內壓力低于大氣壓，形成真空。隨著空氣分子的氣壓降低，固體或液體表面附著的氣體分子、水分子、雜質等都會逐漸從表面散發出來，從而達到去除雜質的目的。
　　一、組成結構

　　真空機組是由真空泵、閥門、儀表、過濾器、冷卻器、真空箱、泄漏檢測控制系統等組成。其中，真空泵是真空機組的核心部件，包括機械泵、根號保持泵、渦旋分子泵等，根據不同的應用場景和需要，選擇不同類型的真空泵。

　　二、應用領域
　　廣泛應用于工業、生物醫療、航空航天等領域。在工業生產中，真空機組常用于半導體加工、光學薄膜沉積、真空干燥、真空灌裝等。在生物醫療領域，真空機組可用于血液分離、真空封閉式培養、化學藥品冷凝等。在航空航天領域，真空機組是制造合金材料、制造航空器外殼、模擬航天環境等需要的工具。
　　真空機組的優勢在于能夠在低壓下實現物質表面的去污、除氧處理；消除了雜質、細菌、病毒等因素對表面的污染。同時，由于真空狀態下熱傳遞效率降低，因此真空機組也常用于高溫材料的沉積和制備等。真空機組在諸多領域的廣泛應用將其地位舉足輕重，真空泵是其中核心部件，其類型和選擇將決定機組的性能和使用范圍。